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深圳市金徠技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2024-01-17 07:55:55瀏覽次數(shù)：172次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)應(yīng)用范圍：可滿足大多數(shù)應(yīng)用需求，適合大批量生產(chǎn)，也能滿足實(shí)驗(yàn)室要求。?? 基板表面清洗? 晶圓表面污染物去除? BGA植球前清洗? 改善金球焊接? 改善壓膜分層? 改善倒裝焊底部填充? 掩膜去除? 環(huán)氧樹脂去除（包含SU-8）? 改善塑封/封膠
Wafer封裝等離子清洗機(jī)是一款針對從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域的等離子清洗工藝 ，適用于wafer清洗及芯片封裝批理生產(chǎn)的多功能設(shè)備，滿足客戶需求。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-IVM-010 | JL-IVM-020 |
外形尺寸MM | 700(L)*700(W)*1500(H) | 750(L)*1200(W)*1650(H) |
腔尺寸 MM | 330(L)*330(W)*460(H)（50L） | 400(L)*500(W)*650(H)（130L） |
腔體材質(zhì) | 鋁/不銹鋼 | 鋁/不銹鋼 |
等離子發(fā)生器 | 13.56MHz，600W 可調(diào) | 13.56MHz，1000W 可調(diào) |
真空度 | 5~30Pa | 5~30Pa |
氣體通道 | 2路（選配4路） | 2路（選配4路） |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵+羅茨泵 |
控制方式 | PLC+人機(jī) | PLC+人機(jī) |
質(zhì)量流量計(jì) | 2個(gè)（選配4個(gè)） | 2個(gè)（選配4個(gè)） |
壓縮空氣 | 0.3~0.6MPa | 0.3~0.6MPa |
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