關(guān)于First Sensor SQ273-H010GZ8P硅基IC式微壓傳感器,以下是對其的詳細(xì)分析:
First sensor sQ273-H010GZ8P微壓傳感器產(chǎn)品概述
First Sensor SQ273-H010GZ8P是一款專為高精度壓力測量設(shè)計(jì)的硅基IC式微壓傳感器。該傳感器以其性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在醫(yī)療設(shè)備中占據(jù)了重要地位。
First sensor sQ273-H010GZ8P微壓傳感器工作原理
基于壓阻效應(yīng)或電容效應(yīng):采用硅基 MEMS 工藝,當(dāng)有壓力作用于硅膜片時(shí),若基于壓阻效應(yīng),硅膜片內(nèi)部的壓阻元件電阻值會隨壓力產(chǎn)生變化,再通過惠斯通電橋?qū)㈦娮枳兓D(zhuǎn)換為電壓信號輸出;若基于電容效應(yīng),壓力使膜片形變導(dǎo)致電容極板間距改變,進(jìn)而通過檢測電容值變化來計(jì)算壓力大小。
集成信號處理電路:內(nèi)置 IC 電路可對傳感器檢測到的原始信號進(jìn)行放大、濾波處理,還能進(jìn)行溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn)等操作,最終輸出可供控制系統(tǒng)識別和處理的標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(如 0.5-4.5V)或數(shù)字信號(如 I2C/SPI 總線信號)。
性能特點(diǎn)
高精度測量:能精準(zhǔn)測量氣道中的微小壓力變化,滿足對壓力控制的高精度要求,確保為患者提供準(zhǔn)確、穩(wěn)定的通氣支持,推測精度可達(dá)到 ±0.5% FS 及以上。
快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間極短,可在毫秒級時(shí)間內(nèi)捕捉到壓力的變化,使能夠迅速根據(jù)患者的呼吸狀況調(diào)整通氣參數(shù),如潮氣量、呼吸頻率等。
穩(wěn)定性強(qiáng):硅基材料本身具有良好的抗疲勞性,且經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造工藝優(yōu)化,在長時(shí)間連續(xù)工作過程中,能保持穩(wěn)定的測量性能,受環(huán)境因素影響小。
小型化設(shè)計(jì):利用 MEMS 工藝制造,體積小巧,便于安裝在內(nèi)部緊湊的氣路系統(tǒng)中,不會占用過多空間,有利于小型化和集成化設(shè)計(jì)。
低功耗運(yùn)行:符合醫(yī)療設(shè)備的節(jié)能要求,在工作時(shí)消耗的電能較少,有助于延長電池使用時(shí)間或降低整體能耗,特別是對于可移動(dòng)或便攜式更為重要。
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