1. 產品簡介：
Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產商，在業(yè)內已經有三十多年的經驗。他所生產的小型等離子清洗器結構緊湊、質量可靠、價格合理；廣泛地被大中院校、科研機構、企業(yè)研發(fā)機構和實驗室采用。其產品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫(yī)療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。
2. 主要特征：
1）臺式設計，結構緊湊精致
2）低、中、高三檔可調節(jié)功率，可為30W
3）設備輻射小，安全環(huán)保
3. 基本參數：
1）外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）
2）重量：20.0kg
3）輸入電源：220 V / 50Hz
4） 輸入功率：200 W
5）功率檔：
低檔716V DC、10mA DC、7.16W
中檔720V DC、15mA DC、10.15W
高檔740V DC、40mA DC、29.6W
6）常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
7）基本配置：
直徑6英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
為30W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥
8） 選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計量混合器Plasma FloTM
9）周邊設備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）
4. 可選件：
4.1. 選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡介：
1）Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2）在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3）為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
4）含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5）溫差電偶真空度表測量艙內壓力
6）適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7）尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8）訂貨號：PDC-FMG-2
4.2. 選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
1） 抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2） 極限壓力(氣鎮(zhèn)關)：1.5 mTorr
3）極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
4） 電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
5）重量: 34 lbs
6）尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
4.3. 選件三：石英等離子清洗艙及托盤
