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殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測(cè)的真空設(shè)備，主要用來(lái)檢測(cè)真空腔中的氣體成分和氣體濃度。可以達(dá)到百萬(wàn)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，510-4Torr的探測(cè)限，帶有分析軟件和RS232接口。
發(fā)布日期：2010/7/29
美國(guó)斯坦福公司的殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號(hào)，其優(yōu)異的性能和價(jià)值是真空分析儀的產(chǎn)品。并且SRS提供的的價(jià)格不到同類產(chǎn)品的一半，每一個(gè)RGA系統(tǒng)都由一個(gè)四級(jí)桿探針和電子控制單元組成。實(shí)時(shí)分析的windows軟件包可以更方便的用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
是在真空腔內(nèi)利用RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進(jìn)入四桿產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)電場(chǎng)內(nèi)，由于不同的粒子質(zhì)量數(shù)不一樣，在一定的電場(chǎng)作用下所形成的偏轉(zhuǎn)半徑就不一樣。相當(dāng)于我們?cè)谒臈U上加特定的電場(chǎng)就會(huì)有特定質(zhì)量數(shù)的離子打到探測(cè)器陽(yáng)上，探測(cè)器所產(chǎn)生的電流正比于氣體分子的濃度。進(jìn)一步改變電場(chǎng)，就可以檢測(cè)到不同質(zhì)量數(shù)離子的濃度。之后我們?cè)僮鲭妶?chǎng)掃描，就可以計(jì)算出真空腔中所含氣體的成分。
具體性能參數(shù)如下：
型號(hào)
質(zhì)譜范圍 RGA100 1 to 100 amu
RGA200 1 to 200 amu
RGA300 1 to 300 amu
質(zhì)樸濾波器類型 Quadrupole
探測(cè)器類型 Faraday cup （FC）, standard Electron multiplier （EM）, optional
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constant peak width
throughout the mass range.
靈敏度（A/Torr） 2 × 10?4 （FC）, <200 （EM）.
探測(cè)限 5 × 10?11 Torr （FC）,
5 × 10?14 Torr （EM）
測(cè)試范圍 10?4 Torr to UHV （FC）
10?6 Torr to UHV （EM）
操作溫度 70 °C （max.）
烘烤溫度 300 °C （without ECU）
離子發(fā)生器
結(jié)構(gòu) Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization
材料 SS304 construction
燈絲 Thoriated iridium （dual） with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up.
Field replaceable.
電子能量 25 to 105 V, programmable
離子能量 8 or 12 V, programmable
焦點(diǎn)電壓 0 to 150 V, programmable
電子輸出電流 0 to 3.5 mA, programmable
規(guī)格
探針尺寸 8.75" from flange face to top of ionizer
探針孔徑 2.0"
探針安裝法蘭 2.75" CF
Minimum tube I.D. 1.375"
ECU尺寸 3.1" × 4.1" × 9.1" （WHD）. Easily separated from the probe for bakeout.
LED指示燈 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-
232 Busy, Error,Overpressure, Burnt Filament
預(yù)熱時(shí)間 Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口 RS-232C, 28,800 baud with highlevel commａnd set
軟件 Windows based application
電源要求 24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC
line operation
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